| 摘要 |
本发明揭示一种制造一固态影像装置之方法，其能够藉由氧化一金属遮光膜之表面而形成一抗反射膜，即使组成该金属遮光膜的不仅有耐热的金属矽化物而且还有包括钨与钼的金属，也无需增加一步骤。该方法包括以下步骤：在一光接收感应器及一传送电极上形成一金属遮光膜，该传送电极形成于一晶圆之一表层上；藉由蚀刻，在该光接收感应器上之该金属遮光膜上形成一开口；形成一层间膜；以及藉由热处理，使该层间膜成为一透镜形状。在一处理室内准备由氧气与臭氧之一或二者构成的气体环境，用于形成该层间膜，且在形成该层间膜之前，氧化该金属遮光膜之一表面。 |
