光阻用粗树脂之精制方法

摘要

本发明为提供一种可有效地去除光阻用粗树脂中所含之聚合物或低聚物等副产物之光阻用粗树脂之精制方法。此方法为使用至少溶解有(A)光阻用树脂及(B)酸产生剂之(C1)第1有机溶剂而得之光阻组成物以精制前述(A)成分之粗树脂的精制方法，其特征为，包含将光阻组成物中之(A)成分之浓度作为X，又，将(A)成分之粗树脂溶解于(C2)有机溶剂所得溶液中之粗树脂浓度作为Y时，(甲)调制使Y小于X之粗树脂溶液，其次(乙)将粗树脂溶液过滤之方法。