| 发明名称 |
HOLDING DEVICE, HOLDING SYSTEM, CONTROL METHOD, AND CONVEYANCE DEVICE |
| 摘要 |
유체를 토출함으로써 판형상의 부재와의 사이에 부압을 발생시켜 상기 부재를 유지하는 선회류 형성체(1)는, 기둥형상의 본체(11)와, 본체(11)에 형성되고, 상기 부재에 면하는 평탄형상의 단면(13)과, 단면(13)에 형성되는 오목부(12)와, 오목부(12) 내에 액체를 토출하여 액체의 선회류를 형성하는 도입로(17a 및 17c)와, 오목부(12) 내에 기체를 토출하여 기체의 선회류를 형성하는 도입로(17b 및 17d)를 구비한다. |
| 申请公布号 |
KR20160093674(A) |
申请公布日期 |
2016.08.08 |
| 申请号 |
KR20167017611 |
申请日期 |
2014.11.27 |
| 申请人 |
HARMOTEC CO., LTD. |
发明人 |
IWASAKA HITOSHI;TOKUNAGA HIDEYUKI;KASAI YUJI;KOSHIISHI KATSUHIRO |
| 分类号 |
B65G49/06;B65G47/91;H01L21/683 |
主分类号 |
B65G49/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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