| 发明名称 |
BELEUCHTUNGSSYSTEM INSBESONDERE FÜR DIE EUV-LITHOGRAPHIE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59910752(D1) |
申请公布日期 |
2004.11.11 |
| 申请号 |
DE19995010752 |
申请日期 |
1999.05.04 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
SCHULTZ, JOERG;WANGLER, JOHANNES |
| 分类号 |
G21K1/06;(IPC1-7):G21K1/06 |
主分类号 |
G21K1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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