摘要 |
Ein Wire-Bonder umfasst einen in einer horizontalen Ebene beweglichen Bondkopf, der eine an einem Horn eingespannte Kapillare und Teile eines Bilderkennungssystems aufweist. Die Spitze der Kapillare und die optische Achse des Bilderkennungssystems sind durch eine vektorielle Distanz D getrennt. Der Wire-Bonder weist eine Einrichtung mit einem Körper mit einer optischen Markierung und mit zwei Anschlagsflächen auf, die es erlauben, die vektorielle Distanz D jederzeit nachzueichen. Das Steuerprogramm des Wire-Bonders ist einerseits eingerichtet, die Kapillare auf die erste Anschlagsfläche zuzubewegen und eine erste Koordinate x¶C¶ der Lage des Bondkopfs zu bestimmen, sobald die Kapillare die erste Anschlagsfläche berührt, und anschließend die Kapillare auf die zweite Anschlagsfläche zuzubewegen und eine zweite Koordinate y¶C¶ der Lage des Bondkopfs zu bestimmen, sobald die Kapillare die zweite Anschlagsfläche berührt. Das Steuerprogramm ist weiter eingerichtet, die Koordinaten x¶A¶, y¶A¶ des Bondkopfs zu bestimmen, bei denen die optische Achse des Bilderkennungssystems die optische Markierung in einem vorbestimmten Punkt durchstößt. Und das Steuerprogramm ist eingerichtet, unter Berücksichtigung der ermittelten Koordinaten x¶A¶, y¶A¶, x¶C¶ und y¶C¶ die vektorielle Distanz D nachzueichen. |