发明名称 Wire Bonder mit einer Einrichtung für die Bestimmung der vektoriellen Distanz zwischen der Kapillare und dem Bilderkennungssystem und Verfahren dazu
摘要 Ein Wire-Bonder umfasst einen in einer horizontalen Ebene beweglichen Bondkopf, der eine an einem Horn eingespannte Kapillare und Teile eines Bilderkennungssystems aufweist. Die Spitze der Kapillare und die optische Achse des Bilderkennungssystems sind durch eine vektorielle Distanz D getrennt. Der Wire-Bonder weist eine Einrichtung mit einem Körper mit einer optischen Markierung und mit zwei Anschlagsflächen auf, die es erlauben, die vektorielle Distanz D jederzeit nachzueichen. Das Steuerprogramm des Wire-Bonders ist einerseits eingerichtet, die Kapillare auf die erste Anschlagsfläche zuzubewegen und eine erste Koordinate x¶C¶ der Lage des Bondkopfs zu bestimmen, sobald die Kapillare die erste Anschlagsfläche berührt, und anschließend die Kapillare auf die zweite Anschlagsfläche zuzubewegen und eine zweite Koordinate y¶C¶ der Lage des Bondkopfs zu bestimmen, sobald die Kapillare die zweite Anschlagsfläche berührt. Das Steuerprogramm ist weiter eingerichtet, die Koordinaten x¶A¶, y¶A¶ des Bondkopfs zu bestimmen, bei denen die optische Achse des Bilderkennungssystems die optische Markierung in einem vorbestimmten Punkt durchstößt. Und das Steuerprogramm ist eingerichtet, unter Berücksichtigung der ermittelten Koordinaten x¶A¶, y¶A¶, x¶C¶ und y¶C¶ die vektorielle Distanz D nachzueichen.
申请公布号 DE102004018658(A1) 申请公布日期 2004.11.11
申请号 DE20041018658 申请日期 2004.04.13
申请人 ESEC TRADING S.A., CHAM 发明人 ADORNI, ROLAND;THURLEMANN, SILVAN
分类号 H01L21/60;B23K20/00;(IPC1-7):H01L21/60;H01R43/02 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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