发明名称 DOUBLE SIDE POLISHING DEVICE FOR WAFER AND DOUBLE SIDE POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 KR20040094681(A) 申请公布日期 2004.11.10
申请号 KR20047012115 申请日期 2003.03.26
申请人 发明人
分类号 B24B37/04;B24B37/08;H01L21/306 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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