发明名称
摘要
申请公布号 JP3588600(B2) 申请公布日期 2004.11.10
申请号 JP20010215469 申请日期 2001.07.16
申请人 发明人
分类号 F24F6/18;B01F3/04;F24F6/14;H01L21/00;(IPC1-7):F24F6/18 主分类号 F24F6/18
代理机构 代理人
主权项
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