| 发明名称 |
High-purity standard particle production apparatus, method and particles |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6814239(B2) |
申请公布日期 |
2004.11.09 |
| 申请号 |
US20020076070 |
申请日期 |
2002.02.15 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SUZUKI NOBUYASU;YOSHIDA TAKEHITO;MAKINO TOSHIHARU;YAMADA YUKA |
| 分类号 |
B03C7/02;B01J19/12;B22F9/02;C23C14/00;C23C14/28;G01N15/06;H01L21/203;(IPC1-7):B07B1/00 |
主分类号 |
B03C7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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