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发明名称
摘要
申请公布号 FR1558715(A) 申请公布日期 1969.02.28
申请号 FRD1558715 申请日期 1968.03.13
申请人 发明人
分类号 C23C16/12;H01L39/24 主分类号 C23C16/12
代理机构 代理人
主权项
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