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发明名称
摘要
申请公布号 JPS445825(Y1) 申请公布日期 1969.03.03
申请号 JP19660027284U 申请日期 1966.03.25
申请人 发明人
分类号 H05K3/00;G03F1/00;G03F1/48;H01L21/027;H01L21/302;H05K3/02;H05K3/06 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
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