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发明名称
摘要
申请公布号 JP3585096(B2) 申请公布日期 2004.11.04
申请号 JP19990112755 申请日期 1999.04.20
申请人 发明人
分类号 B05D1/40;B05C5/00;B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):B05C5/00 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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