发明名称 Verfahren zur Herstellung eines DRAM-Zellenkondensators
摘要
申请公布号 DE19907062(B4) 申请公布日期 2004.11.04
申请号 DE19991007062 申请日期 1999.02.19
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD., SUWON 发明人 CHOI, CHANG-WON;LEE, CHANG-HWAN;JUNG, CHUL;HAN, MIN-SEOK
分类号 H01L27/108;H01L21/02;H01L21/768;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
地址