在任意尺寸的柔顺介质上复制高分辨率三维压印图案的方法

摘要

本发明公开了一种用于在柔顺介质(45)上复制高分辨率的三维压印图案(20q)的方法。该柔顺介质(45)携带包括三维特征的压印印模(20t)，其可以在辊对辊式转移印制过程用作压印印模。该柔顺介质(45)可以制成任何尺寸，且可以与带状物(100)或者圆筒(90)连接。该柔顺介质(45)可以是透光的，且带状物(100)或者圆筒(90)也可以是透光的，使得定位在带状物(100)或者圆筒(90)内部或者外部的光源可以照射被促使与柔顺介质(45)接触的另一介质。

主权项

1.一种在柔顺介质(45)上复制高分辨率的三维压印图案(20q)的方法，其包括：通过图案化在母基片(11)上形成压印印模(20)，然后蚀刻该母基片(11)，以在基片(11)中限定压印图案(20p)；在该压印图案(20p)上沉积释放层(13)，该释放层(13)包括可实现共形地涂覆压印图案(20p)的第一厚度(t1)；在该释放层(13)上沉积基于硅酮的弹性体层(15)到可实现完全覆盖该压印图案(20p)第一深度(d1)；通过加热(H)该母基片(11)来固化基于硅酮的弹性体层(15)；从该释放层(13)释放该基于硅酮的弹性体层(15)；从包围压印印模(20a)的基于硅酮的弹性体层(15)的多余部分分离压印印模(20a)；必要时重复上述步骤，以从母基片(11)形成另外的压印印模(20a)；将具有第三厚度(t3)的平的薄塑料膜(33)放置在具有第四厚度(t4)的平的且柔顺的硅橡胶背衬(31)上；用光敏聚合物溶液(35)涂覆该薄塑料膜(33)的表面；将光敏聚合物溶液(35)在塑料膜(33)的表面上散布，以形成具有第五厚度(t5)的光敏聚合物层(35)；将压印印模(20a)的带图案的表面(21a)放置在光敏聚合物层(35)上；通过用预定强度的紫外线(UV)照射光敏聚合物层(35)持续第一时间段来固化光敏聚合物层(35)，以在光敏聚合物层(35)上固定压印印模(20a)的位置，且将在压印印模(20a)的带图案的表面(21a)上的压印图案(20r)的图像转移到光敏聚合物层(35)上；从光敏聚合物层(35)分离(P)压印印模(20a)，使得压印图案(20s)的图像限定光敏聚合物垫片(36)；通过加热(H)光敏聚合物垫片(36)来后固化光敏聚合物垫片(36)；将具有第六厚度(t6)的碳氟化合物材料(37)的涂层沉积在光敏聚合物垫片(36)上；从硅橡胶背衬(31)分离薄塑料膜(33)；将光敏聚合物垫片(36)连附到支撑基片(41)；将具有第一高度(h1)的垫片架(43)连附到支撑基片(41)，该垫片架(43)邻近光敏聚合物垫片(36)定位，且与光敏聚合物垫片(36)隔开第一距离(D1)；用从基于硅酮的弹性体材料和非晶体的含氟聚合物材料中选择的柔顺材料(44)涂覆光敏聚合物垫片(36)和垫片架(43)；在光敏聚合物垫片(36)和垫片架(43)上散布柔顺材料(44)，以形成覆盖光敏聚合物垫片(36)和垫片架(43)的柔顺介质(45)，且将光敏聚合物垫片(36)中的压印图案(20s)转移到了柔顺介质(45)；加热(H)支撑基片(41)；冷却支撑基片(41)；从柔顺介质(45)分离垫片架(43)；将转移粘附层(51)的第一粘附表面(A1)施加到柔顺介质(45)的表面(45s)，使得转移粘附层(51)粘附到柔顺介质(45)，该转移粘附层(51)包括第七厚度(t7)和第二粘附表面(A2)；以及通过剥离转移粘附层(51)来从支撑基片(41)或者光敏聚合物垫片(43)中选定的一个分离柔顺介质(45)。