一种光路对称分布的光栅衍射效率测试仪

摘要

一种光路对称分布的光栅衍射效率测试仪，属于光谱技术领域中涉及的一种光栅衍射效率测试仪。本发明要解决的技术问题是：提供一种光路对称分布的光栅衍射效率测试仪。解决技术问题的技术方案是：本发明包括光源外光路、测量单色仪、控制系统。在测量单色仪的壳体外侧，在光源的光的传播方向置有反射聚光镜和平面反射镜，使经过它们的反射光线在入射狭缝处聚焦并入射到测试仪中，测量单色仪是一个在壳体内部以反透吸收光调制盘和半反半透镜为界的光路对称的测量单色仪，一路为测量光路，另一路为参考光路，测量过程是在控制系统控制下实现的，自动化程度高，测试结果可信。

主权项

1、一种光路对称分布的光栅衍射效率测试仪，包括光源外光路、测量单色仪、控制系统，其特征在于在在测量单色仪的壳体(38)外侧的光源外光路上，在光源(20)的光的传播方向上安置有反射聚光镜(21)和平面反射镜(22)，使经过反射聚光镜(21)和平面反射镜(22)的反射光线，在壳体(38)上的入射狭缝(23)处聚焦并入射到测量单色仪中；测量单色仪是一个在壳体(38)内，以反透吸收光调制盘(29)和半反半透镜(34)为界的光路对称分布的测量单色仪，反透吸收光调制盘29和半反半透镜34的上边为测量光路，下边为参考光路；测量光路中的凹面准直镜(24)和参考光路中的反射聚光镜(33)对称安装，该两镜的反射面朝向左，凹面准直镜(24)的反射准直光射向被测光栅(25)，反射聚光镜(33)的反射准直光射向半反半透镜(34)；被测光栅(25)和平面反射镜(32)对称安装，被测光栅(25)的光栅表面和平面反射镜(32)的反射面朝向右，被测光栅(25)衍射的单色光射向平面反射镜(27)，平面反射镜(32)的反射光射向反射聚光镜(33)；平面反射镜(27)和平面反射镜(31)对称安装，它们分别和各自的入射光线成一定的角度安装，平面反射镜(27)的反射面朝向反射聚光镜(28)，准直镜(30)的反射面朝向平面反射镜(31)；反射聚光镜(28)和准直镜(30)对称安装，它们的反射面相对，反透吸收光调制盘(29)置于反射聚光镜(28)到准直镜(30)的光路上，且在反射聚光镜(28)的焦平面上，半反半透镜(34)置于入射狭缝(23)的右面入射光线并与入射光线成一定的角度安置；放置被测光栅(25)的光栅转台(26)可正逆时针转动，通过导线与控制器(37)连接，出射狭缝(35)置于半反半透镜(34)反射光的光轴线上，在出射狭缝(35)的出射光轴线上装有接收器(36)，接收器(36)通过导线与控制器(37)连接。