| 发明名称 |
METHOD FOR CORRECTION OF OSCILLATION-INDUCED IMAGE DEFECTS IN A LENS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1472564(A1) |
申请公布日期 |
2004.11.03 |
| 申请号 |
EP20030737275 |
申请日期 |
2003.01.27 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
KOHL, ALEXANDER;HOLDERER, HUBERT |
| 分类号 |
G02B7/02;G02B17/08;G02B27/00;G02B27/64;H01L21/027;(IPC1-7):G02B27/64 |
主分类号 |
G02B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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