抛光垫及其生产方法

摘要

本发明提供一种抛光垫和一种生产该抛光垫的方法，该抛光垫在抛光过程中甚至在磨光后，显示出优异的抛光稳定性和优异的浆液保持性，能够有效地防止抛光速率的减少，并且对于待抛光基质来说，也具有优异的压平性能。该方法包含将水溶性微粒如β－环糊精分散到交联剂如聚丙烯乙二醇中，以获得分散体，将分散体与多异氰酸酯如4，4‘－二苯基甲烷二异氰酸酯和或末端为异氰酸酯的尿烷预聚物混合，使混合溶液反应，以获得具有水溶性微粒分散在聚合物基质中的抛光垫。

主权项

1、一种抛光垫的生产方法，包含以下步骤：在交联剂中分散水溶性微粒以产生分散体，将分散体与多异氰酸酯和/或末端为异氰酸酯的尿烷预聚物混合，以产生混合溶液，和使混合物溶液反应，以产生含有分散在聚合物基质中的水溶性微粒的抛光层的抛光垫。