发明名称 Method of electrochemically etching silicon
摘要
申请公布号 GB1145876(A) 申请公布日期 1969.03.19
申请号 GB19660020292 申请日期 1966.05.06
申请人 COMPAGNIE GENERALE D'ELECTRICITE 发明人
分类号 C25F1/14;H01L21/3063 主分类号 C25F1/14
代理机构 代理人
主权项
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