Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung dünner Schichten

摘要

Durch die Erfindung ist eine Abscheidungsvorrichtung geschaffen, die eine deutliche Verringerung des Gasgesamtverbrauchs, eine Vereinfachung des Gesamtaufbaus und eine Kostensenkung der Vorrichtung selbst dann ermöglicht, wenn Gas in mehrere Dünnfilm-Herstellräume (20a, 20b) eingespeist wird. Die Vorrichtung verfügt über mehrere Dünnfilm-Herstellräume (20) zum Herstellen jeweils desselben Dünnfilms. In jedem dieser Dünnfilm-Herstellräume sind Quellengas-Zuführöffnungen (10) vorhanden, durch die mindestens ein Quellengas zugeführt werden kann. Aus mindestens einem (20a) der mehreren Dünnfilm-Herstellräume kann ein Auslassgas durch einen Auslassgas-Strömungspfad (14) in mindestens einen anderen (20b) derselben eingespeist werden. In den erstgenannten Dünnfilm-Herstellraum (20a) wird ein Verdünnungsgas eingespeist, und das Auslassgas wird von einem nach außen führenden Auslassstutzen (9) des anderen Dünnfilm-Herstellraums(20b) nach außen ausgelassen.