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发明名称 Rastersondenmikroskop und Signalverarbeitungsgerät
摘要
申请公布号 DE69730670(D1) 申请公布日期 2004.10.21
申请号 DE1997630670 申请日期 1997.11.10
申请人 HITACHI CONSTRUCTION MACHINERY CO., LTD. 发明人 MORIMOTO, TAKAFUMI;MURAYAMA, KEN;HUSAKA, SUMIO
分类号 G01B21/30;G01B7/34;G01N27/00;G01N37/00;G01Q10/06;G01Q20/00;G01Q30/04;G01Q60/24;G01Q80/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N27/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
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