| 发明名称 |
OPTIMIERUNG EINES THERMISCHEN REAKTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69533517(D1) |
申请公布日期 |
2004.10.21 |
| 申请号 |
DE19956033517 |
申请日期 |
1995.10.17 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
SHAH, C.;PANDEY, PRADEEP |
| 分类号 |
C23C16/52;H01L21/00;(IPC1-7):H05B1/02;C23C14/54;C30B31/18;C30B25/16 |
主分类号 |
C23C16/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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