| 摘要 |
本发明为提供一种具有良好解像性能的同时，也可降低显像缺陷之正型光阻组成物，及使用该正型光阻组成物之图案形成方法。前述正型光阻组成物，为包含具有酸解离性溶解抑制基，可因酸作用增加硷可溶性之树脂成分(A)，与经曝光产生酸之酸产生剂成份(B)之正型光阻组成物，其中，树脂成分(A)为含有羟基苯乙烯所衍生之第1结构单位(a1)，与具有醇性羟基之(甲基)丙烯酸酯所衍生之第2结构单位(a2)之共聚物，且前述结构单位(a1)之羟基与前述结构单位(a2)之醇性羟基之合计10莫耳％以上、25莫耳％以下受前述酸解离性溶解抑制基所保护，又，前述受酸解离性溶解抑制基保护之前的共聚物质量平均分子量为2000以上、8500以下。 |
