金属图案撕去设备除去金属碎片之装置及方法

摘要

本发明揭示一种金属图案撕去(lift-off)设备除去金属碎片之装置，至少包含：一金属图案撕去处理槽，以溶剂溶解光阻以撕去金属图案之镂空层(stencillayer)；一磁性金属去除槽，以磁场吸住磁性金属碎片；一金属碎片收集槽，收集金属碎片；一处理液储槽，储存已除去磁性金属碎片之处理液；一过滤器，过滤剥下之光阻及非磁性金属碎片；一泵浦，将处理液泵至过滤器以回收处理液；一纯水供应源，供应纯水已冲洗磁性金属去除槽内之磁性金属；一废液池，储存已无效用之处理液；一新处理液储槽，用以补充新处理液；复数个开关，以控制处理液之流向；一控制器，控制整个装置之运作。