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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON POLYKRISTALLINEM DÜNNEN FILM, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON OXIDSUPRALEITERN UND VORRICHTUNG DAFÜR
摘要
申请公布号 DE69730591(D1) 申请公布日期 2004.10.14
申请号 DE1997630591 申请日期 1997.10.23
申请人 FUJIKURA LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 IIJIMA, YASUHIRO;HOSAKA, MARIKO;TANABE, NOBUO;SADAKATA, NOBUYUKI;SAITOH, TAKASHI
分类号 C23C14/08;C23C14/22;C23C14/46;H01L39/24;(IPC1-7):C30B28/00;C30B23/00;C30B29/22;C01G1/00;C01G3/00;C01G15/00;C01G25/00;H01B12/00 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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