发明名称 Improvements in or relating to methods of and arrangements for correcting axial astigmatism in corpuscular-beam optical systems using an adjustable stigmator
摘要
申请公布号 GB1147292(A) 申请公布日期 1969.04.02
申请号 GB19660043052 申请日期 1966.09.27
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 H01J37/153 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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