发明名称 | 溶液涂敷装置和涂敷方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种溶液涂敷装置,其以预定的涂敷图形在沿预定方向搬运的基板上涂敷溶液,该溶液涂敷装置包括:喷头(9),具有以喷墨方式喷出上述溶液的多个喷嘴(16);驱动部(20),从该喷头的各喷嘴间歇地喷出溶液;控制装置(21),存储有在上述喷头上设置的喷嘴的坐标数据,根据该坐标数据和溶液涂敷图形来控制上述驱动部的驱动,使溶液从上述喷嘴向基板喷出。 | ||
申请公布号 | CN1536414A | 申请公布日期 | 2004.10.13 |
申请号 | CN200410007816.3 | 申请日期 | 2004.01.29 |
申请人 | 芝浦机械电子株式会社 | 发明人 | 松嶋大辅;丰岛范夫;梶原慎二 |
分类号 | G02F1/1337 | 主分类号 | G02F1/1337 |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 胡建新 |
主权项 | 1、一种溶液涂敷装置,其特征在于,在沿预定方向搬运的基板上,按照预定的涂敷图形涂敷溶液,其特征在于,包括:喷头,具有以喷墨方式喷出上述溶液的多个喷嘴;驱动部,从该喷头的各喷嘴间歇地喷出溶液;控制装置,存储有在上述喷头上设置的喷嘴的坐标数据,根据该坐标数据和溶液涂敷图形来控制上述驱动部的驱动,使溶液从上述喷嘴向基板喷出。 | ||
地址 | 日本神奈川县 |