发明名称 |
基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置 |
摘要 |
基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置,属于光电检测技术领域。本发明利用相位差180°的两列方波,分别调制光路中的两个半导体激光器或者分别调制光路中两个偏振方向正交的液晶光阀,产生两束分时交替的正交偏振光,使发射端输出交替工作的正交双偏振平行光;经过检偏器后产生光强差值,通过检测该差值得到滚转角的值。本发明与现有技术相比,光路结构简单,无较多复杂反馈电路,在保证测量精度的前提下,有效降低了生产成本;同时实现了x-y准直度的测量控制,节省了测量的时间,实现了并行实时测量,为进一步提高测量精度提供了条件。可广泛用于大型工件安装时的滚转角和准直度测量以及运动物的直线度和滚转角的自动跟踪系统。 |
申请公布号 |
CN1170119C |
申请公布日期 |
2004.10.06 |
申请号 |
CN02123642.9 |
申请日期 |
2002.07.05 |
申请人 |
清华大学 |
发明人 |
章恩耀;陈蕾;孙利群;田芊 |
分类号 |
G01B11/26;G01B9/02;H01S3/00 |
主分类号 |
G01B11/26 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
1.一种基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法,该方法按如下步骤进行:(1)利用相位差180°的两列方波,分别调制光路中两个偏振方向正交的液晶光阀,产生两束分时交替的正交偏振光,经过偏振分光棱镜后,使发射端输出交替工作的正交双偏振平行光;(2)正交双偏振平行光通过在接收端放置的初始偏振方向与入射正交偏振光互成45°的检偏器及放置在其后的透镜将光会聚在该透镜焦点处的光强探测器上;(3)光强探测器将两正交双偏振光光强转化为电信号,该电信号放大后,经过两个脉冲信号采样,分别得到代表两正交双偏振光光强的电信号,将两电信号送入减法器相减,经低通滤波放大后得到的电压值的正负即反映了滚转角的方向,其电压绝对值大小反映了滚转角的值。 |
地址 |
100084北京市100084-82信箱 |