发明名称 CRYSTAL MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR20040084941(A) 申请公布日期 2004.10.06
申请号 KR20047013374 申请日期 2002.11.12
申请人 发明人
分类号 C30B29/38;H01L21/20;C23C16/34;C30B25/02;C30B25/18;H01L21/205 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
地址