微沉积控制系统中用来提高分辨率的超频

摘要

微沉积系统(20)和在衬底上沉积总量精确的流体材料的方法。微沉积头(50)包括许多相互隔开的用于喷射液滴的喷嘴，这些液滴沉积到所述衬底上时具有某一宽度。定位装置以某一沉积头速度相对衬底移动微沉积头(50)。控制器(22)以显著大于所述液滴宽度除沉积头速度的速率产生超频信号，以提高分辨率。控制器(22)包括产生用于定位装置的定位控制信号的定位模块。控制器(22)包括根据超频速率产生喷嘴喷射命令以喷射喷嘴形成在衬底上确定特征的液滴的喷嘴喷射模块(144)。

主权项

1.微沉积系统，用于在衬底上沉积精确量的流体材料，包含：微沉积头，它包括许多间隔开的用于喷射液滴的喷嘴，这些液滴沉积到所述衬底上时具有某一宽度；定位装置，以某一沉积头速度相对所述衬底移动所述微沉积头；以及控制器，以基本上大于所述沉积头速度除以所述液滴宽度的速率产生超频信号，控制器包括产生用于定位装置的定位控制信号的定位模块，以及包括根据所述超频速率产生喷嘴喷射命令以喷射喷嘴以便形成在所述衬底上确定各个特征的液滴的喷嘴喷射模块。