发明名称 ION-IMPLANTATION AND SHALLOW ETCHING TO PRODUCE EFFECTIVE EDGE TERMINATION IN HIGH-VOLTAGE HETEROJUNCTION BIPOLAR TRANSISTORS
摘要
申请公布号 EP1464079(A1) 申请公布日期 2004.10.06
申请号 EP20030731896 申请日期 2003.01.10
申请人 RAYTHEON COMPANY 发明人 HUSSAIN, TAHIR;MONTES, M.C.
分类号 H01L21/331;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/76 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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