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发明名称
摘要
申请公布号	JP3573754(B2)	申请公布日期	2004.10.06
申请号	JP19970525148	申请日期	1997.01.10
申请人		发明人
分类号	G01J5/20;G01K7/01;G01K7/22;H01L27/16;(IPC1-7):G01J5/20	主分类号	G01J5/20
代理机构		代理人
主权项
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