真空装置用驱动机构及真空装置

摘要

提供一种小型的、且具有不需要特别的真空密封用装置或机构的上升机构的真空装置。包括：固定设置在气密容器内的一端打开的气囊收纳容器(41)、收纳于该气囊收纳容器内的气囊(42)、以及将上述气囊收纳容器(41)贯通并将高压气体供给该气囊(42)内的装置。通过由所述高压气体供给装置将高压气体供给该气囊(42)内，上述气囊(42)的一部分从所述气囊收纳容器(41)的打开端部突出，以此在上述真空容器中移动对象物体。

主权项

1.一种真空装置，包括：内部形成气密空间的被处理物体的搬运室，经由在构成所述搬运室的隔壁中形成的处理室开口部连设的气密空间构成的处理室，在构成所述搬运室的隔壁中形成的搬运室开口部，设于所述搬运室内、将用于搬运被处理物体的基座在所述搬运室开口部与所述处理室开口部之间进行搬运的搬运机构，以及设置在所述搬运机构中并对所述处理室开口部或所述搬运室开口部气密地开闭状驱动所述基座的真空装置用驱动机构，其特征在于，所述真空装置用驱动机构包括一端打开的气囊收纳容器、收纳于所述气囊收纳容器内的气囊以及将高压气体供给所述气囊内的装置，并构成为通过由所述高压气体供给装置将高压气体供给到所述气囊内，使所述气囊的一部分从所述气囊收纳容器的打开端部突出，以此按压所述基座并将所述处理室开口部或所述搬运室开口部气密地关闭。