复数闸极电晶体之结构及其制造方法

摘要

本发明提供一种复数闸极电晶体之结构及其制造方法，此结构包括一垂直半导体鳍状体、一闸极介电层、一闸极电极与一源极与一汲极。半导体鳍状体位于一基材上方，基材包括有覆盖于一蚀刻终止层上方之一第一绝缘层，第一绝缘层于半导体鳍状体底部形成一底切，闸极介电层位于半导体鳍状体表面，闸极电极位于闸极介电层表面，而源极与汲极分别座落于闸极电极两侧，而位于半导体鳍状体中。