用于晶圆之夹持装置、夹持销、滚轮夹持装置及夹持滚轮

摘要

一种夹持装置及滚轮夹持装置，适用于承载一晶圆。该夹持装置包括一旋转座、一夹持座以及复数个夹持销。该夹持座系固定于该旋转座之上，并且具有从中心向外延伸之复数个支撑臂。该等夹持销系分别设置于该等支撑臂之上，每一夹持销具有一夹持部，该夹持部具有一抵挡面以及一承载面，该抵挡面具有一突出部。当该晶圆定位于该等夹持销之上时，该晶圆之边缘系顶触于每一夹持销之该抵挡面，并且位于该承载面与该突出部之间。