涂敷机及涂敷方法

摘要

本发明系提供一种涂敷机及涂敷方法，系藉由使用清洗液而进行边缘清洗(edgerinse)，而将成膜于晶圆上的涂布膜的被形成于晶圆侧面的边缘积存处除去。亦即，本发明的涂敷机具有混合针对涂布膜有不同溶解速度之复数种溶剂，然后进行边缘清洗之机构。