复合喷溅靶及磷光体沉积的方法

摘要

本发明系一新颖喷溅靶及多元素薄膜磷光体之沉积方法供厚膜介电电发光显示器用，其中沉积的磷光体提供TV应用要求之高明亮度与色彩。方法包括在低压喷溅气氛中含活性物类与非活性物类的气体内喷溅单一复合物靶。复合靶含一基材相与一包含相，或二基材相，其中一相含一或多种金属元素贡献磷光体成分，另一相含其余元素提供磷光体组合物。方法中喷溅氛围内活性物类之压力经变动以控制复合靶基材相与包含相的喷溅速率，使两相中元素沉积比例成为底质上磷光膜所期之比率。