输送带之传动机构

摘要

一种用于输送制程反应室之玻璃基板的输送带之传动机构于此揭露。传动机构系包含：传动轴、齿轮组、第一滋润槽以及第二滋润槽。其中第一滋润槽内具有之滋润液可对齿轮组的转动进行润滑，而第二滋润槽则用以接收溢出第一滋润槽之滋润液，以避免溢出之滋润液对制程反应室之环境造成污染。