发明名称 METHODS TO FORM DUAL GATES BY INCORPORATING METALS AND THEIR CONDUCTIVE OXIDES
摘要
申请公布号 SG106095(A1) 申请公布日期 2004.09.30
申请号 SG20020005626 申请日期 2002.09.17
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. 发明人 WENHE LIN;MEI SHENG ZHOU;KIN LEONG PEY;SIMON CHOOI
分类号 H01L21/336;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/44 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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