电磁驱动双向执行微量取样器

摘要

一种电磁驱动双向执行微量取样器，由在硅基片上利用SU－8光刻胶制作的微针，微通道和反应室组成；反应室底部为硅基底，沉积有氮化硅绝缘层，在其上制作用以检测生物样品的金电极；反应室的上部由金膜组成，在其上电铸有CoNiMnP微型永磁阵列；利用外部可控的电磁场对微型永磁阵列作用，可以实现反应室的体积变化，从而实现双向控制的过程，即取样和送样的目的。

主权项

1、一种电磁驱动双向执行微量取样器，其特征在于：在硅基片的两面，各沉积一层氮化硅绝缘层，在其中一层氮化硅绝缘层上制备铬金薄膜，光刻出电极图形，然后进行第一次甩胶、曝光，制作出反应室图形；再进行第二次甩胶、曝光，制作出微针通道和反应室图形；接下来在胶膜上溅射金薄膜，在金膜上进行第三次甩胶、曝光，制作出磁性柱阵列图形，进行第一次显影形成阵电铸磁性列孔，在孔中电铸CoNiMnP磁性柱阵列；对胶膜进行第二次显影，形成微针孔和反应室；最后腐蚀去掉微针背面的硅基片；利用外部可控的电磁场对微型永磁阵列作用，调整反应室体积变化，实现微量取样和送样的目的。