发明名称 一种生长碳纳米管的方法
摘要 本发明涉及一种生长碳纳米管的方法,其包括步骤:a)选取金属基底,b)提供碳源气体,c)将所述金属基底表面氧化形成一氧化层,d)在氧化层上形成催化剂层,e)通入碳源气体,以CVD法生长碳纳米管,同时产生氢气将所述氧化层还原。本发明方法在金属基底表面形成氧化层,可避免金属基底对催化剂的不良影响,生长完成后将氧化层还原为金属,从而实现金属基底上生长碳纳米管之目的。
申请公布号 CN1532142A 申请公布日期 2004.09.29
申请号 CN03114036.X 申请日期 2003.03.19
申请人 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 发明人 刘亮;范守善
分类号 C01B31/02;C30B28/12;C30B29/02 主分类号 C01B31/02
代理机构 代理人
主权项 1.一种生长碳纳米管的方法,其包括步骤:a)选取金属基底,b)提供碳源气体,c)将所述金属基底表面氧化形成氧化层,d)在氧化层上形成催化剂层,e)通入碳源气体,生长碳纳米管,同时将所述氧化层还原。
地址 100084北京市海淀区清华大学物理系