发明名称 |
一种生长碳纳米管的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种生长碳纳米管的方法,其包括步骤:a)选取金属基底,b)提供碳源气体,c)将所述金属基底表面氧化形成一氧化层,d)在氧化层上形成催化剂层,e)通入碳源气体,以CVD法生长碳纳米管,同时产生氢气将所述氧化层还原。本发明方法在金属基底表面形成氧化层,可避免金属基底对催化剂的不良影响,生长完成后将氧化层还原为金属,从而实现金属基底上生长碳纳米管之目的。 |
申请公布号 |
CN1532142A |
申请公布日期 |
2004.09.29 |
申请号 |
CN03114036.X |
申请日期 |
2003.03.19 |
申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
刘亮;范守善 |
分类号 |
C01B31/02;C30B28/12;C30B29/02 |
主分类号 |
C01B31/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种生长碳纳米管的方法,其包括步骤:a)选取金属基底,b)提供碳源气体,c)将所述金属基底表面氧化形成氧化层,d)在氧化层上形成催化剂层,e)通入碳源气体,生长碳纳米管,同时将所述氧化层还原。 |
地址 |
100084北京市海淀区清华大学物理系 |