基板待机装置及具有该装置的基板处理装置

摘要

一种基板待机装置及具有该装置的基板处理装置，一对基板待机支架，向内侧多级进退。在活塞杆上升的状态下，以活塞杆、推进支杆支持部及推进支杆不碰到基板待机支架及输送辊的方式，配置各基板支持部。在活塞杆上升最高的状态下，各推进支杆的顶端位于基板待机支架的上方，在推进支杆下降最大的状态下，各推进支杆的顶端位于多个输送辊的下方。

主权项

1.一种基板待机装置，在支持玻璃基板的状态下，相对于在待机位置可进退的基板输送机构，在上述待机位置进行玻璃基板的转接，其特征在于，具有：基板待机机构，从上述基板输送机构的进退路径的侧方、沿与上述进退路径交叉的方向、相对于上述待机位置可进退地设置，支持玻璃基板的下面；基板支持机构，从比上述待机位置低的位置到比上述待机位置高的位置可上下移动地设置，支持玻璃基板的下面；控制机构，控制上述基板待机机构和上述基板支持机构，以进行在上述基板输送机构和上述基板待机机构之间的玻璃基板的转接及上述基板待机机构和上述基板支持机构之间的玻璃基板的转接。