| 发明名称 | 刻蚀机自动传片机构 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种刻蚀机自动传片机构，它包括步进电机、长轴、下臂和托片手，长轴外套有长套筒，长轴上端装有下臂，下臂壳体内一端装有主转盘，下臂壳体的另一端内部装有从动轴，从动轴轴端部分从下臂壳体伸出，伸出端与托片手连接。下臂和托片手可完成转臂和伸臂的动作。本实用新型利用电机驱动，光电控制来完成传片的动作，取片送片全部自动完成，避免了手动操作引起的污染，提高了反应室的洁净度，提高了刻蚀的质量。 | ||
| 申请公布号 | CN2644434Y | 申请公布日期 | 2004.09.29 |
| 申请号 | CN03270508.5 | 申请日期 | 2003.08.12 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 杨金生 |
| 分类号 | C23F1/08 | 主分类号 | C23F1/08 |
| 代理机构 | 北京连城创新专利代理有限公司 | 代理人 | 刘伍堂 |
| 主权项 | 1.一种刻蚀机自动传片机构，其特征在于：它包括步进电机一(18)、步进电机二(19)、长轴(10)、下臂(29)和托片手(11)，长轴(10)外套有长套筒(12)，长轴(10)上端装有下臂(29)，步进电机一(18)与谐波齿轮减速器(6)相连，谐波齿轮减速器(6)与基座(4)相连，长轴(10)和长套筒(12)与基座(4)固定连接，步进电机二(19)与带轮(2)相连，带轮(2)与长套筒(12)相连，长轴(10)上端固定有主转盘(21)，主转盘(21)装在下臂壳体(23)内一端，下臂壳体(23)的另一端内部装有从动轴(27)，主转盘(21)与从动轴(27)用一钢丝绳(25)套接，从动轴(27)轴端部分从下臂壳体(23)伸出，伸出端与托片手(11)连接。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||