| 发明名称 |
Methods of sputtering using Krypton |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2375117(B) |
申请公布日期 |
2004.09.29 |
| 申请号 |
GB20020016179 |
申请日期 |
2001.12.21 |
| 申请人 |
* TRIKON HOLDINGS LIMITED |
发明人 |
HILKE * DONOHUE;MARK GRAEME MARTIN * HARRIS |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/35;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/35;H01L21/768 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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