| 发明名称 |
PROCEDE DE POLISSAGE DE TRANCHE DE MATERIAU |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2843061(B1) |
申请公布日期 |
2004.09.24 |
| 申请号 |
FR20020009869 |
申请日期 |
2002.08.02 |
| 申请人 |
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES |
发明人 |
RICHTARCH CLAIRE;LETERTRE FABRICE |
| 分类号 |
B24B57/02;B24B37/04;B44C1/22;C09K3/14;C30B33/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04;C30B29/06 |
主分类号 |
B24B57/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
