使用聚焦离子束之化学汽相沈积的光罩图案化

摘要

提供一种形成光罩图案之方法，包括：提供一石英基底，使用聚焦离子束及一有机气体以将碳沈积于该石英基底上而形成光罩图案，于一实施例中，所使用之离子束为镓离子束，而该有机气体系碳氢气体(carbon–hydrogengas)或嵌二(pyrene)气体。