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发明名称 AQUEOUS CLEANING SOLUTION FOR A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0946976(B1) 申请公布日期 2004.09.15
申请号 EP19970936578 申请日期 1997.07.31
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 MARTIN, ANDREAS;HUB, WALTER;KOLBESEN, BERND
分类号 H01L21/304;C11D3/39;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306;C11D7/50 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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