发明名称
摘要
申请公布号 JP3566522(B2) 申请公布日期 2004.09.15
申请号 JP19970347565 申请日期 1997.12.17
申请人 发明人
分类号 B01J19/08;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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