发明名称 Modular pre-adjustable gas laser discharge unit
摘要
申请公布号 EP1128500(B1) 申请公布日期 2004.09.15
申请号 EP20010104149 申请日期 2001.02.21
申请人 TUILASER AG 发明人 KODEDA, HANS;STROWITZKI, CLAUS
分类号 H01S3/038;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/038 主分类号 H01S3/038
代理机构 代理人
主权项
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