陶瓷静电卡盘组件及其制备方法

摘要

烧结陶瓷静电卡盘装置(ESC)包含嵌入在陶瓷体内的图案化的静电夹紧电极，其中夹紧电极至少是一条按精细图案排列的烧结导电材料。由于使用的电极图案的精细度，减少了在ESC制备期间所产生的应力，使得夹紧电极在烧结工序完成之后能够充分地保持平坦。所得到的ESC允许改进夹紧均匀性。另一种ESC包含一个绝缘或半导体和一个夹紧电极，该夹紧电极具有高电阻系数和/或高横向阻抗。当RF能量从下面的RF电极耦合通过夹紧电极时，该静电卡盘装置还改善了RF耦合的均匀性。RF电极可以是一个分立的基板，或者是卡盘的一部分。ESC可以用于在等离子处理设备中支撑例如半导体晶片的半导体衬底。

主权项

1.一种烧结陶瓷静电卡盘装置，包括：嵌入无缝单块烧结陶瓷体中的基本平坦的静电夹紧电极，该夹紧电极包含至少一个图案的导电材料；其中该电极图案中的最大直线长度为1.0英寸。