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发明名称 Method of producing tantalum and niobium alkoxides
摘要
申请公布号 GB2389361(B) 申请公布日期 2004.09.15
申请号 GB20030022019 申请日期 2002.03.06
申请人 * H.C. STARCK GMBH 发明人 FRIEDRICH * ZELL
分类号 C07F9/00;C07C29/70;C23C16/18;C23C16/34;C23C16/40;H01L21/285;(IPC1-7):C07C29/70;B01J23/00;C23C16/06;C23C16/458;H01L39/24 主分类号 C07F9/00
代理机构 代理人
主权项
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