| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1454347(A1) |
申请公布日期 |
2004.09.08 |
| 申请号 |
EP20020788928 |
申请日期 |
2002.11.08 |
| 申请人 |
GENITECH CO., LTD. |
发明人 |
KOH, WON-YONG;LEE, CHOON-SOO |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/205;C23C16/455;C23C16/515;H01L21/285;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
